太阳能集热管反应溅射电压反馈智能控制方法及装置----中国新能源网

太阳能集热管反应溅射电压反馈智能控制方法及装置

文章来源：中国新能源网 | 发布日期：2009-07-01 | 作者：未知 | 点击次数：

公开号：101182629 （8606）

发明人：焦存柱;杨春学

地址：253000山东省德州市皇明太阳能集团有限公司技术部

本发明提供了一种太阳能集热管反应溅射电压反馈智能控制方法及装置，涉及太阳能集热管，本发明所述装置，包括靶电源、控制单元及充气单元，控制单元分别连接并控制靶电源与充气单元。本发明所述方法，包括步骤A，设定初始化参数，包括中心电压值V0 及中心流量值Q0；步骤B，采集靶电压；步骤C，分析比较靶电压与中心电压值V0的压差，并做出判定；步骤D，根据判定结果，执行控制指令。本发明所述方法是适用于各种太阳能集热管镀膜工艺的通用方法，它具有提高镀膜工艺的自动化程度，同时大幅提升产品质量的优点；本发明所述装置具有准确控制，同时具有自动调节的优点。

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