公开号：101100019
发明人：王 涛;姚建铨;古桂茹;刘保利
地 址：214028江苏省无锡市新区长江路7号科技园二区二楼201
它利用Z型谐振腔的Nd:YAG激光器发射双束输出波长1064nm直径Φ6 的双束激光，经直角棱镜合并成平行双束激光，其间距1～4mm可调，经声光Q 开关调制，经反射镜反射到聚焦镜，由聚焦镜实现双束激光聚焦，聚焦光斑为Φ 9～19μm，划槽最小线宽：10μm，最大划片速度：100mm/s，功率为20～40W，调制频率范围5～35KHz，实现双束激光双线划槽加工。主要应用于硅、锗、砷化镓等材料的划槽与切割，特别适用于单晶硅、多晶硅、非晶硅太阳能电池的切割。